[6a-PA6-1~3] 7.2 電子ビーム応用

[6a-PA6-1] ガス雰囲気下加熱TEM試料ホルダーの開発

〇秋元 創^1,2、竹口 雅樹^2,1、関口 隆史^2,1、橋本 綾子^2,1 (1.筑波大数理、2.物材研)

キーワード：透過型電子顕微鏡、その場観察

近年材料開発の多様化から、ガス雰囲気や液中といった特殊な環境下におけるナノスケールでの物質の挙動や構造解析のニーズが増えてきている。これらの背景から、我々は透過型電子顕微鏡（TEM）鏡筒内において試料近傍にガス環境を作り出し、同時に試料加熱が可能なTEM試料ホルダーシステムを開発した。このシステムを用いることで、一般的なTEMでも高温・ガス雰囲気下での試料観察を行うことができる。