[6a-PA6-1~3] 7.2 電子ビーム応用

[6a-PA6-3] ファラデーカップ設計のための電子散乱シミュレーション

〇頓花 貴俊¹、伊藤 優花¹、小寺 正敏¹ (1.大阪工業大学)

キーワード：走査電子顕微鏡、ファラデーカップ