[6a-PA7-1~2] 7.3 Micro/Nano patterning and fabrication

△ [6a-PA7-2] Fabrication of periodic nanostructure of conductive thin films on atomically stepped flexible substrate by thermal nanoimprint technique.

〇Shiori Yamada¹, Risa Goto¹, Taichiro Kinoshita¹, Katsuyoshi Komatsu², Tomoyasu Taniyama², Satoru Kaneko^3,1, Akifumi Matsuda¹, Mamoru Yoshimoto¹ (1.Tokyo Tech. Materials, 2.Tokyo Tech. LMS, 3.KISTEC)

Keywords:thermal nanoimprint, conductive thin film, periodic nanostructure

本研究では、フレキシブル基板を用いた電子・光学デバイスの要素技術の創成を目的として、超平坦ポリマー上の導電性薄膜に対する微細周期パターン形状の作製と導電特性に与える影響について検討した。