[6a-PA7-1~2] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

△ [6a-PA7-2] 熱ナノインプリントによる原子ステップ型フレキシブル基板上導電性薄膜の周期的微細構造作製

〇山田 志織¹、後藤 里紗¹、木下 太一郎¹、小松 克伊²、谷山 智康²、金子 智^3,1、松田 晃史¹、吉本 護¹ (1.東工大物質理工、2.東工大フロンティア研、3.神奈川県産総研)

キーワード：熱ナノインプリント、導電性薄膜、周期的微細構造

本研究では、フレキシブル基板を用いた電子・光学デバイスの要素技術の創成を目的として、超平坦ポリマー上の導電性薄膜に対する微細周期パターン形状の作製と導電特性に与える影響について検討した。