[6a-S41-1~11] 【CS.9】7.1 X線技術と7.4 量子ビーム界面構造計測のコードシェアセッション

[6a-S41-5] 高速かつ大視野を特徴とするX線位相敏感スキャナーの開発

〇影山 将史¹、岡島 健一¹、前澤 稔¹、野々口 雅弘¹、小池 崇文¹、野口 学¹、山田 鮎太¹、森田 円史¹、川瀬 里美¹、栗林 勝¹、原 幸寛¹、バッチェ シバジ²、百生 敦² (1.㈱リガク、2.東北大)

キーワード：X線撮像法、位相コントラスト、干渉計

従来研究分野向けであったX線位相コントラスト撮像法であったが、今回非破壊検査等の産業利用を目指し、高速（10 mm/sec）かつ大視野（220 mm）を特徴とするX線位相敏感スキャナーを新たに開発した。本発表では具体的な装置の構成や装置を用いた測定例について紹介する。