[6a-S44-1~10] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[6a-S44-10] 微粒子プラズマにおける高周波電力変調による微粒子の輸送制御

〇林 嘉樹¹、Utegenov Almasbek²、橋本 紅里¹、富樫 塁¹ (1.京都工芸繊維大学、2.Al-Farabi Kazakh National University)

キーワード：微粒子プラズマ、微粒子分級、高周波変調

プラズマ中に微粒子を入れると微粒子は負に帯電し、イオン粘性力、静電力を受ける。イオン拡散によるプラズマ外部に向けてのイオン粘性力、シース電界によるプラズマ内側に向けての静電力および微粒子の重力が均衡し、微粒子はプラズマ-シース境界付近に滞在する。微粒子の帯電量は電子温度、イオン密度、微粒子密度と微粒子半径に密接に関係している。本研究では大小異なるサイズの微粒子を含む高周波微粒子プラズマにおいてプラズマ発生電圧を周期、デューティ比が調節可能な方形波で変調し、電子温度を変化させた。それにより微粒子帯電量も変化し、サイズの大きい微粒子から力の均衡が崩れ、静電力が重力を支えきれなくなったところで落下した。この時サイズの小さい微粒子はまだプラズマ-シース境界付近に滞在していることから、大きさによる微粒子輸送制御が可能であるとされた。