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[6p-A204-13] Cu配線を用いたSi太陽電池におけるTa酸化物バリア層の特性評価
キーワード:太陽電池
近年、Si系太陽電池の製造コスト低減を進めるために、集電電極に用いられるAgペーストを安価なCuペーストへ転換する試みがなされている。しかし、CuはSi中を非常に速く拡散してしまうため、Cuの拡散を防ぐバリア層が不可欠である。本研究では、Ta酸化物を拡散バリア層として選択し、スクリーン印刷Cu電極/単結晶Si太陽電池界面にバリア層を導入することで、良好な変換効率を得ることができるか調査した。