[6p-A204-1~23] 16.3 Bulk, thin-film and other silicon-based solar cells

[6p-A204-14] Electrical contact formation between Cu electrode and Si solar cell using blue laser

〇Masaaki Saiga¹, Daisuke Ando¹, Yuji Sutou¹, Junki Sakamoto², Masaya Suwa², Koji Tojo², Yasuhiro Yamakage² (1.Tohoku Univ., 2.Shimadzu Corp.)

Keywords:Silicon solar cell, Metallization, Laser contact opening

Si太陽電池の表面電極形成には、Agペーストをスクリーン印刷しファイヤースルー処理を施す手法が幅広く用いられている。しかしながら、太陽電池の製造コストの低減のために、SiN反射防止膜の選択的な開口を用いたCu電極形成法への転換が望まれている。本研究では、青色レーザーを用いてSiNを開口することでCu/Siのコンタクトを形成した。これにより6インチサイズのセルから17.0%の変換効率を実現した。