[6p-A204-1~23] 16.3 シリコン系太陽電池

[6p-A204-14] 青色レーザーを用いたCu電極とSi太陽電池基板間のコンタクト形成

〇雑賀 真晃¹、安藤 大輔¹、須藤 祐司¹、坂本 隼規²、諏訪 雅也²、東條 公資²、山蔭 康弘² (1.東北大院工、2.島津製作所)

キーワード：シリコン系太陽電池、電極形成、レーザー開口

Si太陽電池の表面電極形成には、Agペーストをスクリーン印刷しファイヤースルー処理を施す手法が幅広く用いられている。しかしながら、太陽電池の製造コストの低減のために、SiN反射防止膜の選択的な開口を用いたCu電極形成法への転換が望まれている。本研究では、青色レーザーを用いてSiNを開口することでCu/Siのコンタクトを形成した。これにより6インチサイズのセルから17.0%の変換効率を実現した。