[6p-A301-8~14] 15.4 III-V族窒化物結晶

[6p-A301-14] 膨張天然黒鉛シートPERMA-FOIL^®を基材に用いたGaN成長

〇井上 崇¹、桟敷 剛²、細川 敏弘¹、大國 友行¹、岡野 寛² (1.東洋炭素（株）、2.香川高専)

キーワード：窒化ガリウム、膨張天然黒鉛シート、エピタキシャル成長

柔軟性と伝導性を有する膨張天然黒鉛シートPERMA-FOIL^®は，次世代表示デバイスへの適用が期待できる。サファイア基板と比較すると，黒鉛の結晶粒子はミクロンオーダーで小さいが，AFM，SEMによる表面観察では，原子レベルの平坦面が存在していることが分かっている。我々は，個々の黒鉛平坦面上にエピタキシャル成長した無数のGaN小結晶が，面全体で発光するような面発光デバイスの実現可能性を検討した。