[6p-A405-1~22] 【CS.4】3.11 フォトニック構造・現象,13.7 ナノ構造・量子現象のコードシェアセッション

△ [6p-A405-16] GaAs光ディスク‐機械共振器複合構造の作製と評価

〇浅野 元紀¹、太田 竜一¹、岡本 創¹、俵 毅彦¹、後藤 秀樹¹、山口 浩司¹ (1.NTT物性研)

キーワード：共振器オプトメカニクス、微小光共振器、半導体メカニクス

我々は、GaAs光ディスクとGaAs機械共振器とが微小ギャップを介して近接場結合した複合構造を作製しその評価を行った．本講演では，複合構造の作製プロセスを紹介し光学測定によって得られた光および機械振動特性を報告する