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△ [6p-A405-2] ダブルホールフォトニック結晶レーザの作製・特性評価(II)
キーワード:フォトニック結晶、半導体レーザ、結晶成長
フォトニック結晶レーザ(PCSEL)は,活性層近傍に配置した2次元フォトニック結晶のバンド端共振効果を活用した大面積コヒーレント半導体レーザである.我々は,最近,本レーザの更なる大面積化・高出力化に向けて,高さに差を設けた2つの空孔を単位格子点とするダブルホール構造を提案・実証してきた.今回,これまで報告してきた構造を上回る大面積においても,単一モード動作が期待できるダブルホール構造の作製およびその基礎評価を行ったので報告する.