[6p-A413-1~18] 12.1 作製・構造制御

△ [6p-A413-6] マイクロ波励起大気圧プラズマジェットを用いた新規製膜手法の開発

〇山田 涼輔¹、大野 常久¹、石島 達夫²、田中 康規¹、上杉 喜彦¹、辛川 誠^2,3、桑原 貴之^1,2、高橋 光信^1,2、當摩 哲也^2,3 (1.金沢大院自、2.RSET、3.InFiniti)

キーワード：新規製膜手法