[6p-A414-1~21] 3.8 Optical measurement, instrumentation, and sensor

[6p-A414-1] [JSAP Young Scientist Award Speech] High-sensitivity absorption spectra measurement of trace moisture in gases

〇Koji Hashiguchi¹, Daniel Lisak², Hisashi Abe¹ (1.NMIJ/AIST, 2.UMK)

Keywords:trace moisture, CRDS, spectra measurement

半導体や有機EL・有機太陽電池をはじめとしたハイテク産業において、ガス中微量水分を正確に測定、管理する需要が高まっている。本研究ではキャビティリングダウン分光法(CRDS)を用いた測定装置の開発を進め、波長計を用いてレーザー周波数の制御を行う独自の手法(波長計制御型CRDS)を用いることで、長時間安定した高感度な測定を実現した。詳細なスペクトル解析を行い、フィッティング残渣の標準偏差を10 ppt以下にまで下げることができた。