[6p-A414-1~21] 3.8 光計測技術・機器

[6p-A414-1] [講演奨励賞受賞記念講演] ガス中微量水分の高感度吸収スペクトル測定

〇橋口 幸治¹、Lisak Daniel²、阿部 恒¹ (1.産総研、2.ニコラス・コペルニクス大学)

キーワード：微量水分、キャビティリングダウン分光法、スペクトル測定

半導体や有機EL・有機太陽電池をはじめとしたハイテク産業において、ガス中微量水分を正確に測定、管理する需要が高まっている。本研究ではキャビティリングダウン分光法(CRDS)を用いた測定装置の開発を進め、波長計を用いてレーザー周波数の制御を行う独自の手法(波長計制御型CRDS)を用いることで、長時間安定した高感度な測定を実現した。詳細なスペクトル解析を行い、フィッティング残渣の標準偏差を10 ppt以下にまで下げることができた。