[6p-A414-1~21] 3.8 光計測技術・機器

△ [6p-A414-15] YF₃薄膜を用いた真空紫外センサの粒子径制御及び応答速度評価

〇鈴木 健太郎¹、山崎 亮¹、大谷 潤¹、小野 晋吾¹、加瀬 征彦² (1.名工大、2.ウシオ電機)

キーワード：光センサ、真空紫外、フッ化物