2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

3 光・フォトニクス » 3.8 光計測技術・機器

[6p-A414-1~21] 3.8 光計測技術・機器

2017年9月6日(水) 13:15 〜 19:00 A414 (414)

塩田 達俊(埼玉大)、安井 武史(徳島大)、時実 悠(理研)

17:00 〜 17:15

[6p-A414-15] YF3薄膜を用いた真空紫外センサの粒子径制御及び応答速度評価

鈴木 健太郎1、山崎 亮1、大谷 潤1、小野 晋吾1、加瀬 征彦2 (1.名工大、2.ウシオ電機)

キーワード:光センサ、真空紫外、フッ化物