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[6p-A414-3] 固体Arレーザープラズマによる30-500 nm分光光源
キーワード:レーザープラズマ光源、真空紫外光ー可視スペクトル、固体アルゴン
連続パルス発生可能な固体Arターゲットによるレーザープラズマ光源のVUV-可視領域の発光スペクトルを調べたところ、30~500 nmの広帯域に渡って連続スペクトル成分が認められ、その上にイオン・中性原子からの発光ラインがのる構造であった。この広帯域連続スペクトルを用いたVUV-可視領域分光システムを提案する。