2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.7 結晶評価,不純物・結晶欠陥

[6p-A503-1~12] 15.7 結晶評価,不純物・結晶欠陥

2017年9月6日(水) 13:45 〜 17:00 A503 (503)

大野 裕(東北大)、仮屋崎 弘昭(グローバルウェーハズ・ジャパン)、中川 聰子(グローバルウェーハズ・ジャパン)

14:45 〜 15:00

[6p-A503-5] 光熱偏向分光法によるGa1-xInxN薄膜の評価

福田 清貴1,2、尾沼 猛儀2、Sang Liwen1、山口 智広2、本田 徹2、角谷 正友1 (1.物質材料研究機構、2.工学院大学)

キーワード:光熱偏向分光法、窒化ガリウムインジウム、窒化ガリウム

Ga1-xInxN用に光熱偏向分光法を用いた装置の開発と光熱偏向分光法を用いてGa1-xInxNの測定を行い、構造揺らぎに関する指標の検討について