2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.7 結晶評価,不純物・結晶欠陥

[6p-A503-1~12] 15.7 結晶評価,不純物・結晶欠陥

2017年9月6日(水) 13:45 〜 17:00 A503 (503)

大野 裕(東北大)、仮屋崎 弘昭(グローバルウェーハズ・ジャパン)、中川 聰子(グローバルウェーハズ・ジャパン)

15:30 〜 15:45

[6p-A503-7] シリコンウェーハにおける自由キャリアのバルク・表面再結合拡散モデル: II.キャリア濃度分布

金田 寛1、米澤 英晃2、大村 一郎1 (1.九工大院生命体工、2.九工大工)

キーワード:シリコン、バルクライフタイム、表面再結合