[6p-A503-1~12] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[6p-A503-9] シリコン結晶中の低濃度炭素の測定(Ⅻ)10¹³cm^-3までの検出と10¹⁴cm^-3までの高精度測定・装置の検討

〇井上 直久¹ (1.東京農工大)

キーワード：シリコン結晶、炭素不純物濃度測定、赤外吸収

1x10¹³cm^-3迄の参照試料とブロックゲージを準備できたので色々な誤差の対策を進めた。炭素固有の誤差原因は(1)参照試料、(2)フォノン吸収による妨害の他に、(3)市販中赤外汎用装置の保証限界である、感度の低波数端400cm^-1に近く5%未満の低透過率域でのバックグラウンド吸光度0.7に対する10^-4(濃度1x10¹⁴cm^-3の場合)域の測定誤差がある。評価技術の高度化には装置の高度化が不可欠なため、世界の主要な赤外装置メーカと協力や評価をしている。装置の問題点と対策、参照試料とブロックゲージの効果、誤差の装置や測定条件依存性、誤差を評価して対策する方法、などを関係各位と協力して進めている。