[6p-C13-1~15] 3.15 シリコンフォトニクス

[6p-C13-11] シリコン光集積回路上に作製した光フェーズドアレイアンテナの遠視野像評価

〇井上 大介¹、市川 正¹、河崎 朱里¹、山下 達弥¹ (1.豊田中研)

キーワード：フェーズドアレイアンテナ、スキャナ、光集積回路

シリコン光集積回路上に光フェーズドアレイアンテナを試作した。
光の分配は2分岐を5段重ね32分岐としたトーナメント形式とした。
ビーム品質をM²によって評価した結果、x方向のM²=2.78、y方向のM²＝1.23 であった。