[6p-C13-1~15] 3.15 シリコンフォトニクス

[6p-C13-12] 加熱制御型Siフォトニック結晶導波路スローライト偏向器

〇竹内 梧朗¹、寺田 陽祐¹、竹内 萌江¹、阿部 紘士¹、馬場 俊彦¹ (1.横国大院工)

キーワード：光偏向器、LiDAR