2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

3 光・フォトニクス » 3.15 シリコンフォトニクス

[6p-C13-1~15] 3.15 シリコンフォトニクス

3.13と3.15のコードシェアセッションあり

2017年9月6日(水) 13:45 〜 18:15 C13 (事務室2-2)

庄司 雄哉(東工大)、竹中 充(東大)、開 達郎(NTT)

14:15 〜 14:30

[6p-C13-2] 簡易構造横PN型Ge受光器の高速動作特性

下山 峰史1、木下 啓藏1、堀川 剛1、田中 有1、最上 徹1 (1.PETRA)

キーワード:シリコンフォトニクス、Ge受光器、光インターコネクト

Ge上にコンタクト形成不要な構造で製造工程を簡素化でき、光集積回路作製に有利な簡易構造横PIN型Ge受光器を開発し、32Gbps受信器として良好な特性を得た。光吸収領域長40μmの試作素子について、低暗電流(-5V時27nA)、高受光感度(-3V時0.87A/W@1310nm)、広帯域性(3dB帯域39.9GHz)、といった諸特性が得られ、32Gbps受信波形も良好であった。