[6p-C13-1~15] 3.15 シリコンフォトニクス

[6p-C13-2] 簡易構造横PN型Ge受光器の高速動作特性

〇下山 峰史¹、木下 啓藏¹、堀川 剛¹、田中 有¹、最上 徹¹ (1.PETRA)

キーワード：シリコンフォトニクス、Ge受光器、光インターコネクト

Ge上にコンタクト形成不要な構造で製造工程を簡素化でき、光集積回路作製に有利な簡易構造横PIN型Ge受光器を開発し、32Gbps受信器として良好な特性を得た。光吸収領域長40μmの試作素子について、低暗電流(-5V時27nA)、高受光感度(-3V時0.87A/W@1310nm)、広帯域性(3dB帯域39.9GHz)、といった諸特性が得られ、32Gbps受信波形も良好であった。