[6p-C14-1~19] 3.13 半導体光デバイス

[6p-C14-10] MEMSミラーを有するスローライトSOAの偏光特性

〇旭 利紘¹、井上 俊也¹、顧 暁冬¹、中濵 正統¹、小山 二三夫¹ (1.東工大未来研)

キーワード：MEMSビームスキャナー、スローライトSOA

近年，ロボットや自動運転などの進展に伴って，波長の短い光を用いて対象の形状や距離を測ることのできるセンシング技術であるLiDAR(Laser Imaging Detection and Ranging)に大きな注目が集まっている．本研究では，LiDARシステムに必要不可欠な高出力かつ高解像度のビーム掃引デバイスの実現に向け，スローライトSOA(Semiconductor Optical Amplifier)にMEMS (Micro Electro Mechanical System)技術を導入したビーム偏向期の高解像度化について検討したのでご報告する．