[6p-C14-1~19] 3.13 Semiconductor optical devices

[6p-C14-5] High speed wavelength tuning of MEMS VCSEL

〇Shun Nishimura¹, Masanori Nakahama¹, Takahiro sakaguti¹, Akihiro Matutani², Humio Koyama¹ (1.Tokyo Tech First, 2.Tokyo Tech Semiconductor and MEMS Processing Division)

Keywords:VCSEL

VCSELは他のレーザに比べ低消費電力,高速変調,低しきい値動作などの利点があり,WDMやガスセンシングなど様々な分野に応用される.その中でもコヒーレント長の長い可変波長光源としてOCTへの活用が考えられる.マイクロマシン構造によって波長を変化させることで高速・広帯域掃引が可能という利点がある．本報告では,可変波長光源としてマイクロマシン構造を用いた波長変調の周波数特性について述べる.