[6p-C17-1~15] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[6p-C17-6] 縮退した多結晶ZnO系透明導電膜の電気伝導機構に対する不規則粒界の影響

〇徳永 浩己¹、宮田 俊弘¹、内嗣 南¹ (1.金沢工大)

キーワード：透明導電膜、酸化亜鉛、伝導機構