[6p-C23-1~16] 6.4 薄膜新材料

△ [6p-C23-16] イオン液体液滴上への金薄膜の作製およびその構造評価

〇(M2)高澤 亮二¹、丸山 伸伍¹、松本 祐司¹ (1.東北大院工)

キーワード：イオン液体、薄膜、蒸着

イオン液体は化学的安定性、高伝導性などの特性を有し、現在トランジスタ等のデバイスへの応用が期待されている。実際にデバイスへ応用する上で、電極として使用する金属薄膜を直接イオン液体上に形成できれば、より簡便に薄膜デバイス構造を実現できる可能性がある。今回はイオン液体液滴表面に金薄膜を作製するため、液体と固体の二つの状態の液滴にそれぞれ金の熱蒸着を試み、その構造評価等を行った。