[6p-C23-1~16] 6.4 薄膜新材料

[6p-C23-7] 核反応分析法を用いた金属水素化物薄膜内の水素量深さ分布解析

〇清水 亮太¹、笹原 悠輝¹、小倉 正平²、大口 裕之³、折茂 慎一^3,4、福谷 克之²、一杉 太郎¹ (1.東工大物質理工、2.東大生産研、3.東北大AIMR、4.東北大金研)

キーワード：金属水素化物薄膜、エピタキシャル成長、核反応分析

金属水素化物は高温超伝導を初めとした興味深い物性を発現することから，エレクトロニクスへの応用が期待されている．水素化物の物性はH量に大きく依存するため，薄膜内水素の定量と深さ分布解析は重要な課題である．粉体等のバルク内水素の定量手法としては，加熱分解時の重量変化や質量分析による定量が一般的であるが，重量・体積の微小な薄膜への適用は難しい．そこで本研究では，軽い元素の深さ分布解析が可能な核反応分析法(NRA)に着目した．これまでNRAを金属水素化物薄膜に適用した例は少ないため，その適用性を検討した．