[6p-C24-1~13] 6.6 プローブ顕微鏡

[6p-C24-4] 薄膜シールド機構を備えた液中AFMの開発

〇宮澤 佳甫¹、山村 俊貴¹、泉 久範¹、高橋 康史^1,2、福間 剛士^1,3 (1.金大院、2.JST さきがけ、3.JST ACT-C)

キーワード：原子間力顕微鏡、薄膜シールド、カンチレバー