[6p-C24-1~13] 6.6 プローブ顕微鏡

[6p-C24-5] 電子線堆積カーボン探針を備えた小型カンチレバーの再利用プロセスの確立

〇中嶋 脩貴¹、宮澤 佳甫¹、岩崎 郷史¹、福間 剛士^1,2 (1.金大院、2.ACT-C)

キーワード：原子間力顕微鏡、小型カンチレバー、EBD探針