[6p-C24-1~13] 6.6 プローブ顕微鏡

[6p-C24-6] 高速原子間力顕微鏡計測における温度制御デバイスの開発

〇加藤 恭介¹、山下 隼人^1,2、阿保 智¹、宮戸 祐治¹、阿部 真之¹ (1.阪大院基礎工、2.JST さきがけ)

キーワード：高速原子間力顕微鏡、温度制御デバイス