[6p-PA2-1~7] 3.7 レーザープロセシング

[6p-PA2-4] 超臨界二酸化炭素雰囲気中における金属の間欠照射レーザー加工

〇北原 祐希¹、岡田 雄仁¹、吉木 啓介¹、伊藤 杏奈²、高御堂 美佑紀²、古田 裕正² (1.兵県大工、2.パナソニックデバイスSUNX株式会社)

キーワード：レーザー加工、超臨界流体

超臨界二酸化炭素中の高アスペクト比レーザー深加工では，加工穴のような狭い空間内でも対流が発生するため，切りくずの排出性が高まり加工性能が向上する．しかし，対流は適切に制御しなければレーザーの集光の妨げとなり，加工阻害の要因にもなる．本報告では，間欠照射が対流の制御に有効であることを高速度カメラで確認し，二酸化炭素中でレーザーを間欠照射することにより空気中に比べて約1.5倍の深穴加工を達成した．