[6p-PA2-1~7] 3.7 レーザープロセシング

[6p-PA2-6] フェムト秒レーザースクライブの熱影響評価

〇奈良崎 愛子¹、佐藤 正建¹、新納 弘之¹、高田 英行¹、鳥塚 健二¹、西永 慈郎¹、上川 由紀子¹、石塚 尚吾¹、柴田 肇¹、仁木 栄¹ (1.産総研)

キーワード：フェムト秒レーザースクライブ、CIGS薄膜太陽電池、熱影響

我々はCIGS薄膜太陽電池へのオールレーザースクライブ技術導入を目指し、レーザープロセスでこそ実現できる上部電極剥離スクライブに着目、レーザー加工時の熱ダメージを低減・回復する技術開発に取り組んでいる。今回は、フェムト秒レーザーリフトオフを利用して作製した上部電極剥離スクライブ溝断面の走査型広がり抵抗顕微鏡(SSRM)測定を行い、フェムト秒レーザーパルス照射による熱影響を検討したので報告する。