[6p-PA3-1~22] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

△ [6p-PA3-10] 静電駆動金ナノグレーティングによる位相差変調

〇湖東 裕士¹、城光寺 佑樹¹、木下 卓哉²、志村 崇²、岩見 健太郎²、梅田 倫弘² (1.農工大工、2.農工大院工)

キーワード：位相差変調、金ナノグレーティング、静電アクチュエータ

本研究では，静電駆動金ナノグレーティングの位相差変調について報告する．金ナノグレーティング構造は可視光域において巨大な複屈折性が得られることが知られている．ガラス基板上に可動梁と固定梁とを交互に配置したグレーティング構造を構成し，静電気力により可動梁を面外方向に駆動させることで，位相差変調を試みた．デバイスに電圧を印加することで波長624 nmにおいて最大32.4°の位相差変調量が得られた．