[6p-PA3-1~22] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

[6p-PA3-11] [(GeTe)₂(Sb₂Te₃)₁]₂₀超格子の可逆的相転移を用いたプラズモン変調素子

〇(D)杉山 岳¹、久保 敦^1,3、中野 隆志^2,3 (1.筑波大物理、2.産総研、3.JST-CREST)

キーワード：プラズモン

[(GeTe)₂/(Sb₂Te₃)]超格子（GST超格子）は，Ge₂Sb₂Te₅合金と同様の平均組成を持つ相変化材料であり，RESET相とSET相の2種類の結晶相を持っている．本研究では，ITO（透明電極）とGST超格子を用いた変調デバイスの構造設計をおこなった．ITOを電圧印加のための電極，並びに導波路構造として用いることで，導波モードに1:13の出力比が得られることが分かった．当日の発表では，実際のデバイスからの出力光を検出することで，変調動作の実験結果についても報告する．