[6p-PA5-1~24] 13.10 化合物太陽電池

[6p-PA5-23] 基板再利用に向けたELO後基板の清浄化工程と再成長の検討

〇宮下 直也¹、八木 修平²、渡辺 健太郎¹、木村 大希³、ソダーバンル ハッサネット¹、中田 達也³、杉山 正和^1,3、岡田 至崇^1,3 (1.東大先端研、2.埼玉大、3.東大院工)

キーワード：III-V半導体、エピタキシャルリフトオフ

III-V系高効率太陽電池の点コスト化に向け、エピタキシャルリフトオフ（ELO）により分離された基板の再利用技術開発が求められている。本研究では、ELO後の基板表面分析、およびクリーニングプロセスについて検討した。また再成長した結晶品質の評価についても報告する。