[6p-PA6-1~6] 15.2 II-VI族結晶および多元系結晶

[6p-PA6-3] CVD法によるZnS, ZnSe結晶成長の数値解析

〇飯塚 将也¹、向山 裕次¹、Bogdanov M.V.²、Bord O.V.² (1.STR Japan株式会社、2.STR Group, Inc. - Soft-Impact, Ltd.)

キーワード：II-VI族結晶成長、バルク結晶成長、シミュレーション

本研究では、CVD法によるZnSバルク結晶成長におけるアルゴン流入量の時間変遷が長時間成長後の結晶形状の平坦性に及ぼす影響に関して、開発した熱流体シミュレーションソフトウェアVirtual Reactor CVD II-VI Editionを使用して検討しました。アルゴン流量の時間変遷が亜鉛蒸気発生量やガス輸送過程に与える影響、及び平坦性の良いZnSバルク結晶成長のための最適条件をシミュレーションにて模索することができたのでその内容を報告します。