[6p-PA9-1~26] 13.9 光物性・発光デバイス

[6p-PA9-12] 基板温度を変化させて作製したZnOミストCVD膜の結晶性と発光特性

〇中田 克弥¹、菅野 剛志¹、斎藤 嘉騎¹、佐伯 祥吾¹、山路 郷史¹、深田 晴己¹、山口 敦史¹ (1.金沢工大　光電相互変換システムデバイス研究開発センター)

キーワード：蛍光体、酸化亜鉛、ミストCVD