[6p-PB2-1~15] 9.4 Thermoelectric conversion

[6p-PB2-10] Control of Au condensation in amorphous SiGe:Au thin film

〇Masahiro Adachi¹, Kazuya Tokuda¹, Yoshihiro Saitoh¹, Makoto Kiyama¹, Kouji Uematsu¹, Yoshiyuki Yamamoto¹, Shunsuke Nishino², Muthusamy Omprakash², Tsunehiro Takeuchi² (1.Sumitomo Electric Industries, 2.Toyota Technological Institute)

Keywords:Thermoelectric materials, Nano strucuture

熱電材料の性能指数（ZT）は、数十年ZT～1-2であるのに対し、自動車排熱発電の要求はZT>4である。我々は、このギャップをナノ構造の精密制御で打破すべく、熱処理でナノ結晶を作製可能なアモルファスSiGe:Au薄膜材料に着目し、SiGeナノ結晶のサイズ制御を行っている。
今回、熱処理の過程において、SiGeナノ結晶の形成を促進する添加材のAuが凝集することが見出された。そのAu凝集体を解析し、制御する手法について検討した結果を報告する。