1:30 PM - 3:30 PM
[6p-PB2-10] Control of Au condensation in amorphous SiGe:Au thin film
Keywords:Thermoelectric materials, Nano strucuture
熱電材料の性能指数(ZT)は、数十年ZT~1-2であるのに対し、自動車排熱発電の要求はZT>4である。我々は、このギャップをナノ構造の精密制御で打破すべく、熱処理でナノ結晶を作製可能なアモルファスSiGe:Au薄膜材料に着目し、SiGeナノ結晶のサイズ制御を行っている。
今回、熱処理の過程において、SiGeナノ結晶の形成を促進する添加材のAuが凝集することが見出された。そのAu凝集体を解析し、制御する手法について検討した結果を報告する。
今回、熱処理の過程において、SiGeナノ結晶の形成を促進する添加材のAuが凝集することが見出された。そのAu凝集体を解析し、制御する手法について検討した結果を報告する。