[6p-PB6-1~18] 12.7 Biomedical Engineering and Biochips

[6p-PB6-9] Stabilization of photonic crystal nanolaser sensor by low-temperature ALD

〇Akihiro Sakata¹, Keisuke Watanabe¹, Shoji Hachuda¹, Toshihiko Baba¹ (1.Yokohama Nat'l Univ.)

Keywords:photonic crystal, atomic layer deposition, interface state density

我々はフォトニック結晶 (PC) ナノレーザを利用した超高感度バイオセンサを実証してきた．PCナノレーザを保護するために，原子層堆積法 (ALD) により，ナノレーザ表面にZrO₂を被膜している．しかし，ZrO₂​被膜によるナノレーザの発振強度の低下が問題となっていた．これはナノレーザとZrO₂​間の界面準位密度が大きいためと考えられる．本研究ではZrO₂​の堆積温度を降下させることで，界面準位密度を減らし，PCナノレーザの安定化を試みた．