[6p-PB6-1~18] 12.7 医用工学・バイオチップ

[6p-PB6-9] 低温原子層堆積によるフォトニック結晶ナノレーザセンサの安定化

〇坂田 晟大¹、渡邊 敬介¹、羽中田 祥司¹、馬場 俊彦¹ (1.横国大院工)

キーワード：フォトニック結晶、原子層堆積、界面準位密度

我々はフォトニック結晶 (PC) ナノレーザを利用した超高感度バイオセンサを実証してきた．PCナノレーザを保護するために，原子層堆積法 (ALD) により，ナノレーザ表面にZrO₂を被膜している．しかし，ZrO₂​被膜によるナノレーザの発振強度の低下が問題となっていた．これはナノレーザとZrO₂​間の界面準位密度が大きいためと考えられる．本研究ではZrO₂​の堆積温度を降下させることで，界面準位密度を減らし，PCナノレーザの安定化を試みた．