[6p-S44-1~21] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[6p-S44-16] UV レーザー照射したシード層上へのZnO ナノロッド成長

〇張 栖岩¹、本田 光裕¹、市川 洋¹ (1.名古屋工業大学)

キーワード：レーザー照射、水熱合成、ZnO ナノロッド

酸化亜鉛（ZnO）ナノロッドは、高いアスペクト比を持つ機能性ナノ材料である。その形状と大きな比表面積が着目され、フォースセンサーなど様々な素子への応用が期待されている。ZnOナノロッドは、基体上に形成された薄膜（シード層）上に成長させることができ、その形態はシード層の結晶性に依存することが知られている。ナノロッドの大面積成長が可能な水熱合成法では、シード層を高温でアニールすることが必要であった^{[1, 2]}。一方で、紫外レーザー照射は無機酸化膜の結晶性の向上に効果があると報告されている^[3]。本研究では、ZnOナノロッド作製プロセスの低温化を目論見、ZnOが完全に吸収される紫外レーザーパルス光をシード層に照射し、水熱合成法で成長するZnOナノロッドの形態を調べた。