[7a-A202-1~8] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[7a-A202-5] 表面X線回折によるペロブスカイト型酸化物薄膜の構造解析手法の開発

〇(D)穴田 壮人¹、中西ー大野 義典²、岡田 真人³、木村 剛³、若林 裕助¹ (1.阪大基礎工、2.東大総合文化、3.東大新領域)

キーワード：ペロブスカイト型酸化物薄膜、CTR散乱、ソフトウェア開発

ペロブスカイト酸化物のヘテロ構造は、強相関酸化物をベースにした物性の設計・制御の研究対象として広く研究されている。膜の作製や、より正確な物性の議論のために、その界面の構造情報は重要である。CTR散乱法は非破壊かつ高分解能の構造観測手法として有用であるが、構造モデルの構築に多大な労力を要していた。本講演では我々が開発を行ったソフトウェアを用いた、表面構造モデルの構築法および解析の精度について報告を行う。