[7a-A413-1~9] 8.1 プラズマ生成・制御

[7a-A413-3] 極低パワーマイクロ波源を用いた電子サイクロトロン共鳴イオン源のプラズマ生成に対する臨界条件

〇渡辺 拓人¹、津田 悠登¹、大西 広司¹、濱田 滉太¹、竹田 樹人¹、加藤 裕史¹ (1.阪大院工)

キーワード：プラズマ、マイクロ波