[7a-A413-1~9] 8.1 プラズマ生成・制御

[7a-A413-4] プレートチューナーによるECRプラズマ生成の高効率化

〇濱田 滉太¹、渡辺 拓人¹、津田 悠登¹、大西 広司¹、竹田 樹人¹、加藤 裕史¹ (1.阪大院工)

キーワード：プラズマ、マイクロ波