[7a-A413-1~9] 8.1 Plasma production and control

[7a-A413-7] Electromagnetic field simulation of power absorption by slot-excited atmospheric-pressure microwave plasma

〇Haruka Suzuki¹, Yosuke Koike¹, Yuto Tamura¹, Yoshiki Baba¹, Hirotaka Toyoda¹ (1.Nagoya Univ.)

Keywords:atmospheric pressure plasma, microwave plasma, electromagnetic field simulation

大気圧マイクロ波放電により狭ギャップに発生させる非平衡プラズマは高電子密度、低ガス温度といった特長を有しており、プロセスへの応用だけでなく、物理的特性に関する研究も注目されている。本研究では、マイクロ波プラズマの生成・維持と電力消費及びプラズマ密度との関係の解明を目的として、電磁界シミュレーションを用いて、スロット内プラズマによる電力消費について調査した。