[7a-A413-1~9] 8.1 プラズマ生成・制御

[7a-A413-7] スロット励起大気圧マイクロ波プラズマの電力消費に関する電磁界シミュレーション

〇鈴木 陽香¹、小池 洋右¹、田村 宥人¹、馬場 賀己¹、豊田 浩孝¹ (1.名大工)

キーワード：大気圧プラズマ、マイクロ波プラズマ、電磁界シミュレーション

大気圧マイクロ波放電により狭ギャップに発生させる非平衡プラズマは高電子密度、低ガス温度といった特長を有しており、プロセスへの応用だけでなく、物理的特性に関する研究も注目されている。本研究では、マイクロ波プラズマの生成・維持と電力消費及びプラズマ密度との関係の解明を目的として、電磁界シミュレーションを用いて、スロット内プラズマによる電力消費について調査した。