[7a-A503-1~12] 12.6 Nanobiotechnology

[7a-A503-5] Microfluidic Arrays with Bonded Chips for Integrated Solid-State Nanopore DNA Sequencer

〇Mayu Aoki¹, Itaru Yanagi¹, Kunio Harada¹, Yoshimitsu Yanagawa¹, Kenichi Takeda¹ (1.Hitachi)

Keywords:Nanopore, micro TAS, device integration

ソリッドナノポアDNAシーケンサの計測スループット向上には，デバイス集積化が有効である。ソリッドナノポアの集積化には，SiN メンブレンの各チャネルに，溶液を供給する流路系と電圧を供給する電気系の両方を，独立して接続する必要がある。そこで我々は，加工が容易なプリント配線板のスルーホールをソリッドナノポアの流路系と電気系に適用し，プリント基板とナノポア基板をパターニング樹脂で接合してフローセル化することを検討した。ナノポアの並列計測では，隣接チャネル間のリーク電流が問題となるため，溶液リークポイントとなり得るパターニング樹脂の形成プロセスに着目し，隣接チャネル間の絶縁特性を示す。